大氣污染日益嚴重的情況正威脅著人類的健康，控制與治理大氣環境污染已迫在眉睫。目前，空氣污染治理方法主要有通風換氣、過濾、吸附等，在處理效率及處理有害氣體和殺菌等方面，多數傳統方法已無法滿足要求。與傳統的大氣污染治理方法相比，一種新的技術——低溫等離子技術，顯示出明顯優勢：它具有投資和運行費用較低，操作相對簡單，處理效率較高，處理時間較短，二次污染產生較少且易于控制等優點，已經展現出廣闊的應用前景。

　　低溫等離子體的主要產生方式是氣體放電，使電子從氣體原子或分子中電離出來，成為電離氣體；然后電離氣體在外加電場下形成傳導電流，從而產生等離子體。由于低溫等離子體中存在很多極高活性的粒子，所以其化學活性很高，能夠與很多難以降解的污染物發生反應，使其得以轉化或分解。所以，用它處理廢氣具有節能減耗和處理效率高的特點。

　　一、處理NOx

　　低溫等離子技術主要是利用其中的N、O、OH等自由基和活性離子與NOx反應而實現脫除。據報道，在脈沖電暈和Ca(OH)2堿液吸收的共同作用下，40%的NO能夠被除，最終形成亞硝酸鈣和硝酸鈣。在有光觸媒TiO2的條件下，NO的脫除效率高于單獨采用等離子體技術。在柴油機尾氣排放末端裝置一個低溫等離子噴射系統，可以有效脫除尾氣中的NOx。

　　另據報道，在室溫下利用等離子體技術可用CH4將NOx還原為N2，NOx的脫除率最高可達95%。

　　二、處理含硫氣體

　　實驗證明，用低溫等離子體-催化還原方法可以有效脫除SO2。該脫除過程能夠在常溫下進行，且產物是單質S，故該方法被看作是一種環保且經濟的脫硫方法。如將氣體放電等離子體技術與光催化技術聯合起來脫除煙氣中的SO2，其效率高于單獨處理的效率，最高能夠達到87.1%。試驗還證明，利用低溫等離子體可以直接分解H2S和S。

　　三、處理有機污染物

　　據報道，在有非均相催化劑存在的情況下，采用低溫等離子技術，即使是在室溫下，對甲苯的脫除效率也可以達到96%。比較實驗證明，單獨使用低溫等離子技術時脫除的效率較低，這說明要想獲得高的脫除效率，就必須與催化劑協同進行。同時，所產生的副產物被催化劑吸收并分解，這些副產物對環境的危害極小，有的沒有危害。所以利用低溫等離子技術脫除甲苯廢氣不易產生二次污染，是一種較為環保的處理方式。

　　另據報道，利用低溫等離子技術協同Cr2O3、MnO2和鉑催化劑可以分解三氯甲烷，主要生成物是氯。利用低溫等離子技術協同γ-Al2O3催化劑可以脫除醛。當溫度為80°C和放電功率為2.8W時，醛的轉化率為87.1%；而在γ-Al2O3中加入MNOx時，其轉化率可達到96.5%，且催化穩定性能持續50小時以上。